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硅片在硅片研磨機(jī)上一道有幾種表面處理方法和步驟

來源:方達(dá)研磨 日期:2019-11-01 15:09:13 人氣:9232

很多人都問是怎么處理的,那么下面我們來講講硅片在硅片研磨機(jī)乐彩汇前一道工序的處理方法。有以下幾種:

乐彩汇 一、硅片預(yù)處理:

(1).硅片切割:根據(jù)所需大小用玻璃刀進(jìn)行硅片切割。

 操作是需要在潔凈的環(huán)境中,并帶一次性手套避免污染硅片。桌面上放一張干凈的稱量紙,用鑷子夾硅片的邊緣,將硅片正面朝上放在稱量紙上, 然后再取一張干凈的稱量紙覆蓋在硅片的表面,留出硅片需要切割的部分,將切割專用的直尺放于覆蓋硅片的紙上壓住直尺,不超過待切割的紙面,以防直尺污染硅片。切割時(shí)玻璃刀沿直尺稍用力平行滑動(dòng),不至于蔣硅片劃開,而是在硅片表面形成一道清晰的劃痕。(避免手套與硅片表面直接接觸)

大硅片切割可在硅片表面形成表格,用手沿著網(wǎng)格線輕輕掰動(dòng),可形成大小合適的硅片。

乐彩汇 將切割好的硅片用鑷子小心夾持,放在干凈的塑料平皿內(nèi),正面朝上,用封口膜封好,放在干凈處保存待用。

乐彩汇 二、硅基片表面的羥基化處理

(2)將切割好的硅片置于干凈的羥化燒杯中(專用),正面朝上。

用去離子水清洗3次,清洗時(shí)稍用力,使硅片能夠在燒杯中旋轉(zhuǎn)起來,以減少硅片之間的摩擦碰撞;將水倒干凈后,用移液管(過氧化氫專用)網(wǎng)燒杯中加入5ml過氧化氫(H2O2,再加入(濃硫酸專用)15ml濃硫酸(H2O24),在搖床上緩慢或靜止30分鐘使之充分反應(yīng),可使表面羥基化。

然后再按以上的方法清洗, 燒杯口的向下傾慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)燒杯,使燒壁上的濃硫酸能洗去。清洗結(jié)束后,用大量的水保存硅拋片,硅片的正面朝上。

三、的氨基化處理

(3)取出氨化燒杯,先用無水乙醇清洗2次,然后倒入20ml無水乙醇,將步驟(2)反應(yīng)后獲得的羥基化硅片轉(zhuǎn)到氨化燒杯中,用無水乙醇清洗3次,清洗時(shí)同步驟(2)。清洗完后倒掉乙醇,加入3-氨基丙基三一乙氨基硅烷(APTES)和無水乙醇的混合液(1:15)或先加入無水乙醇,然后用移管加APTES,然后振搖2h。 結(jié)束后可以是硅片表面氨基化。

四、硅基片的甲基化處理

(4)倒掉上步反應(yīng)液體,用無水乙醇清洗3次,清洗步驟同上。洗完后吧硅片移到羧基化燒杯中,燒杯中含琥珀酸酐的無水乙醇飽和溶液,搖床振搖3h以上,反應(yīng)結(jié)束后可使硅片表面羧基化。然后用無水乙醇清洗,用大量無水乙醇中保存待用。注意:保持各專用燒杯清潔,處理過程中的硫酸要收集到廢液瓶中,做好標(biāo)記。

五、硅基片的醛基化處理

(5)接上步驟(3),倒掉反應(yīng)液體,用無水乙醇清洗3次,以除去氨基硅烷再用去離子水清洗3次,以除去無水乙醇,避免與醛基反應(yīng)。然后再用PBS溶液清洗2次,形成PBS環(huán)境,然后倒掉PBS溶液,將硅片亮面朝上,加入PBS的混合液和戊二醛(1:10)搖床振動(dòng)反應(yīng)1h。反應(yīng)結(jié)束后可使硅基片形成醛基化。倒掉反應(yīng)液體,用大量PBS清洗3次,然后鍵醛基化的硅片保存于PBS溶液中,以待下一步使用。


硅片的處理方法有很多種,這里只是簡(jiǎn)單了描述以上的這幾種,這就是硅片在硅片在硅片研磨機(jī)前上一道工序的其中的五種處理方法。

硅片研磨后的效果


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